Áß±¹ÀÌ ÀÚü °³¹ßÇÑ Ä§ÁöÇü ½ÉÀڿܼ±(DUV) ³ë±¤Àåºñ¸¦ ¾ç»êÇÑ´Ù´Â ¼Ò½ÄÀÌ ¾Ë·ÁÁö¸é¼ ÇâÈÄ ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è¿¡ ¹ÌÄ¥ ÆÄÀå¿¡ °ü½ÉÀÌ ½ò¸°´Ù. ´çÀåÀÇ ½ÃÀå¿¡ ¿µÇâÀ» ÁÖÁö´Â ¸øÇÏÁö¸¸ Áß±¹ ¹ÝµµÃ¼ ±â¼úÀÌ ¹Ì±¹ÀÇ Ã·´Ü ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ¼öÃâ ±ÔÁ¦¸¦ ¹Þ´Â °¡¿îµ¥ µ¹ÆÄ±¸¸¦ ¸¶·ÃÇß´Ù´Â Æò°¡°¡ ³ª¿Â´Ù.
½Ì°¡Æ÷¸£ ¸Åü ¿¬ÇÕÁ¶º¸´Â 29ÀÏ Áß±¹ÀÇ Ä§ÁöÇü DUV ¹ÝµµÃ¼ ¾ç»êÀº ¹Ì±¹ÀÇ ´ëÁß±¹ °ßÁ¦ ¹æÄ§ÀÎ ¡®µÞ¸¶´ç ³ôÀº À庮¡¯ Àü·«ÀÌ ½ÇÆÐÇßÀ½À» º¸¿©ÁÖ´Â ¼Ò½ÄÀ̶ó°í Àü¹®°¡¸¦ ÀοëÇØ º¸µµÇß´Ù. ǪÆÎþ ½Ì°¡Æ÷¸£ °æ¿µ´ë ±³¼ö´Â ¡°ÀÌ ¼Ò½ÄÀÌ »ç½ÇÀ̶ó¸é, ÀÌ´Â Áß±¹ÀÌ ÇÙ½É ±â¼úÀû °úÁ¦¸¦ ÇØ°áÇÏ°í ¹Ì±¹ÀÌ Áß±¹À» ¾Ð¹ÚÇÏ·Á´Â ½Ãµµ¸¦ ±Øº¹ÇÏ´Â µ¥ ÀÖ¾î ȹ±âÀûÀÎ µ¹ÆÄ±¸°¡ µÉ °Í¡±À̶ó°í ¸»Çß´Ù. ´Ù¸¸ ±×´Â ¡°½Å±Ô Àåºñ´Â ¿©·¯ Å×½ºÆ®¸¦ °ÅÃÄ¾ß Çϰí ǰÁú °³¼±µµ ÇÊ¿äÇÒ °Í ASMLÀ» µû¶óÀâÀ¸·Á¸é 3~4³âÀº °É¸± °Í¡±À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
ÀåÆÇ ¾îµå¹êƼÁö ¸®¼Ä¡ ÄÁ¼³ÆÃÀÇ °øµ¿ ⸳ÀÚ´Â ¡°ÇöÀç Áß±¹ÀÇ 1¼¼´ë DUV´Â ASMLÀÇ ±âÁ¸ Á¦Ç°¸¸Å ¿ì¼öÇÏÁö´Â ¾ÊÁö¸¸, ±â¹ÝÀÌ ¸¶·ÃµÇ¾úÀ¸¹Ç·Î Á¦Ç°À» °³¼±ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù¡±¸ç ¡°Áß±¹ÀÌ 7³ª³ë¹ÌÅÍ ±â¼úÀ» µ¹ÆÄÇÏ´Â °ÍÀº ½Ã°£ ¹®Á¦¡±¶ó°í ¸»Çß´Ù
¸ð¹ÙÀÏ ¿Â¶óÀιٴÙÀ̾߱â°ÔÀÓ
. JP¸ð°Ç ºÐ¼®°¡µéÀº º¸°í¼¿¡¼ Áß±¹ÀÇ °ü·Ã ±â¾÷ÀÌ ¼öÀ²¡¤Á¤È®µµ¡¤Ã³¸®·®¡¤½Å·Ú¼º µîÀ» È®º¸ÇÑ µÚ¿¡¾ß ÀÇ¹Ì ÀÖ´Â ´ë·® »ý»êÀÌ °¡´ÉÇÒ °ÍÀ¸·Î ºÃ´Ù.
ºí·ë¹ö±× Åë½ÅÀº Áß±¹ÀÇ DUV Àåºñ´Â ÀϺΠÇÙ½É ºÎǰÀº ÀϺ»¿¡¼ ¼öÀÔÇϱ⠶§¹®¿¡ ´õ ¿À·£ ½Ã°£ÀÌ °É¸± °ÍÀ̶ó°í º¸µµÇß´Ù. ºí·ë¹ö±× ÀÎÅÚ¸®Àü½ºÀÇ ¸¶»çÈ÷·Î ¿ÍÄ«½º±â ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â Áß±¹ÀÌ ³ë±¤Àåºñ ºÐ¾ß¿¡¼ ASML°úÀÇ ±â¼ú °ÝÂ÷¸¦ ¿ÏÀüÈ÷ ÇØ¼ÒÇÏ´Â µ¥ 7³â¿¡¼ 10³âÀÌ °É¸± ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, ¿Ü±¹»ê Àåºñ¸¦ ±³Ã¼ÇÏ´Â µ¥´Â ±×º¸´Ù ´õ ¿À·£ ½Ã°£ÀÌ °É¸± ¼ö ÀÖ´Ù°í ¿¹ÃøÇß´Ù.
Áß±¹ÀÌ ÀϺΠºÎǰ ±³Ã¼¿¡ ½Ã°£ÀÌ ÁöüµÇ´Â µ¿¾È ASMLÀÇ Æ¯Çã Ä§ÇØ ¼Ò¼Û°ú ¹Ì±¹ÀÇ Ãß°¡ ¼öÃâ ±ÔÁ¦°¡ Áß±¹ÀÇ ³ë±¤Àåºñ »ý»êÀ» Áö¿¬½Ãų °ÍÀ̶ó´Â °üÃøµµ ÀÖ´Ù.
·ÎÀÌÅÍÅë½ÅÀº 28ÀÏ Áß±¹ »óÇÏÀÌÀÇ ±¹¿µ±â¾÷ ¾ÆÀ̼º³ªÀüÀÚ±â¼ú±×·ì(¾ÆÀ̼º³ª)ÀÌ Ãֱ٠ħÁöÇü DUV ³ë±¤Àåºñ ¾ç»ê¿¡ µ¹ÀÔÇØ ¿ÃÇØ 5´ë¸¦ ÃâÇÏÇÒ °èȹÀ̶ó°í º¸µµÇß´Ù
¸±°ÔÀÓ ¹é°æ °í·¡
. ¹Ì±¹ ±â¼úÀü¹® ¸Åü ´õ ÀÎÆ÷¸ÞÀ̼ÇÀº 27ÀÏ »óÇÏÀÌÀÇ ±¹¿µ±â¾÷ÀÌ Ä§ÁöÇü DUV ³ë±¤Àåºñ¸¦ ¿ÃÇØ 5´ë, ³»³â 20´ë »ý»êÇØ ÈÈË, CXMT µî Áß±¹ ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷¿¡ ³³Ç°ÇÒ ¿¹Á¤À̶ó°í º¸µµÇß´Ù.
³ë±¤Àåºñ´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤¿¡¼ ºûÀ» ÀÌ¿ëÇØ ¿þÀÌÆÛ Ç¥¸é¿¡ ¹Ì¼¼ÇÑ È¸·Î ÆÐÅÏÀ» ±×¸®´Â Àåºñ´Ù. ȸ·Î ¼±Æø¿¡ µû¶ó EUV), DUV µîÀ¸·Î ³ª´¶´Ù. DUV´Â EUVº¸´Ü ÇØ»óµµ°¡ ³·Áö¸¸ ÀÚµ¿Â÷, °¡ÀüÁ¦Ç°, ÀÇ·á±â±â µî¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¿¡ ÇÊ¿äÇÏ´Ù. ħÁöÇü DUV´Â ÇÑ ´Ü°è ´õ ³ª¾Æ°¡ ·»Áî¿Í ¿þÀÌÆÛ »çÀÌ¿¡ ¹°À» ä¿ö ÇØ»óµµ¸¦ ³ô¿´´Ù.
Áß±¹Àº ¹Ì±¹ÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ¼öÃâ ±ÔÁ¦·Î ¼¼°è ÃÖ°í »ç¾çÀÇ ³ë±¤ÀåºñÀÎ ASMLÀÇ ÃֽŠ³ë±¤Àåºñ¸¦ ¼öÀÔÇÏÁö ¸øÇÏ°Ô µÇÀÚ Ä§ÁöÇü DUV ³ë±¤Àåºñ¸¦ °³¹ßÇß´Ù. EUV Àåºñµµ °³¹ß ÁßÀÌÁö¸¸ ¾ÆÁ÷ ½ÃÁ¦Ç° ´Ü°è¶ó°í ÀüÇØÁø´Ù.
28ÀÏ(ÇöÁö½Ã°£) ASMLÀÇ ÁÖ°¡´Â ÀÌÆ² Àü¿¡ ºñÇØ 11% Ç϶ôÇϸç 6¿ù ÃÊ ÀÌÈÄ ÃÖÀúÄ¡·Î ¸¶°¨Çß´Ù. ASML¿¡ ÀÚÀ縦 °ø±ÞÇÏ´Â ÀϺ» ±â¾÷ ¶óÀúÅØÀÇ ÁÖ°¡´Â Àü³¯´ëºñ 14% Ç϶ôÇßÀ¸¸ç, ÇѶ§ ASMLÀÇ ¶óÀ̹úÀ̾úÀ¸¸ç ÇöÀç´Â Àú°¡ ³ë±¤Àåºñ¸¦ »ý»êÇÏ´Â ´ÏÄÜ ÁÖ°¡µµ 11% ¶³¾îÁ³´Ù.
¿Í ¿þÀÌÆÛ »çÀÌ¿¡