액침 심자외선(DUV) 노광장비 제조에 착수했다는 소식으로 글로벌 반도체주의 대폭락을 불러온 중국 국영 기업이 상하이 소재 ‘아이성나(愛晟納)’라는 생소한 기업인 것으로 드러났다. 28일(현지 시간) 로이터통신은 소식통을 인용해 액침 심자외선(DUV) 노광장비 제조를 시작해 주목받은 업체가 중국 국영기업 ‘상하이 아이성나전자기술그룹’이라고 보도했다. 아이성나는 공식 홈페이지도 존재하지 않는 베일 속의 회사로 2023년 8월 설립됐다. 등록 서류상 주주는 국유기업 ‘상하이 일렉트릭 홀딩스’와 ‘상하이 인터내셔널 트러스트’ 두 곳뿐이다. 앞선 27일 테크 전문매체 디인포메이션은 소식통을 인용해 중국 지원을 받는 한 기업이 DUV 노광장비 생산을 시작했다고 전했다. 올해 5대, 내년 20대 생산이 목표이며 올해 안에 중국 주요 반도체 기업인 중신궈지(SMIC), 화훙반도체, 창신메모리(CXMT)에 공급될 예정이라고 전했다. 바다이야기5만 업계에서는 아이성나가 노광장비 핵심 인력들을 한 데 끌어모은 ‘컨소시엄’ 성격으로 보고 있다. 실제 회사는 상하이 마이크로일렉트로닉스(SMEE)와 위량성테크놀로지를 비롯한 노광장비 기업들에서 개발 인력을 영입해 생산 체계를 구축한 것으로 알려졌다. 위량성은 지난해 DUV 시제품 테스트에 착수한 바 있으며 화웨이가 지원하는 장비업체 시캐리어의 계열사다. 채용 기록에 따르면 아이성나와 위량성은 상하이 내 같은 주소를 공유하고 있다. 미국은 2022년부터 중국이 ASML의 최첨단 극자외선(EUV) 노광장비 수출을 규제하고 있다. EUV 보다는 단순한 DUV 노광장비 가운데서도 첨단 스펙의 제품은 수출을 금지했다. 전문가들은 중국의 DUV 노광장비 생산 소식이 사실이라면 미국의 기술봉쇄 정책이 사실상 실패했음을 의미한다고 평가했다. 손오공주소 푸팡젠 싱가포르경영대 리광첸경영대학원 금융학과 부교수는 연합조보에 “이 소식이 사실이라면 중국이 미국의 기술봉쇄를 극복하는 과정에서 중요한 이정표를 세운 것”이라며 “(중국) 국산 DUV 생산은 결국 언제 성공하느냐의 문제였을 뿐”이라고 평가했다. 장판 싱가포르 컨설팅업체 어드밴티지인사이츠 공동창업자도 “미중 기술전쟁이 8~9년간 이어지는 동안 중국이 반도체 장비 체계를 재구축하는 데 상당한 진전을 이뤘다”며 “미국의 대중 기술봉쇄는 사실상 실패했으며 베를린 장벽이 무너졌듯 이제는 그 담장을 허물어야 한다”고 주장했다. 다만 당장의 상업적인 타격은 크지 않을 것이란 평가다. 아이성나의 DUV 장비는 아직 추가 테스트가 필요하며 ASML 제품과 비교하면 성능 차이가 크다. 생산 대수 역시 내년 최대 20대 목표로 ASML의 연간 수백대와는 비교가 어려운 수준이다. JP모건도 28일 보고서에서 “소량의 DUV 장비를 생산하는 것과 대량 양산 체계를 구축하는 것은 전혀 다른 문제”라며 “양산 단계에서는 수율, 오버레이(중첩) 정밀도, 처리량, 수천 장의 웨이퍼를 안정적으로 처리하는 신뢰성이 핵심”이라고 지적했다. 는 소식으로 글로벌